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    供應各類高純氣體四氟化碳、四氟甲烷

    發布日期:2021-07-29    山西晟豐特種氣體有限公司
    產品介紹

    名稱:四氟化碳、四氟甲烷????

    包裝規格:40L碳鋼瓶


    四氟化碳氣體產品?官網鏈接:

    http://www.kdgc.cn/GetKnowledge/zh-CN/p288.aspx


    產品特點?

    ????四氟化碳是目前微電子工業中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。







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